I. Grafiittiigel ühekristallilise tõmbamisahju jaoks (CZ-südamiku kulumaterjal ühekristallilise räni jaoks)
Tööstuse teadmiste punktid
Kasutamine: sularäni materjali hoidmiseks, pakkudes vormiõõnsust ühekristalliliste ränivarraste kasvatamiseks, sobib 12/14/16--tolliste suurte monokristallahjude jaoks;
Väljakutsed töökohal: pikaajaline{0}}kastmine 1420-kraadisesse ränivedelikku, tavaline grafiit on altid räni imbumisele, pragunemisele ja lisandite (nt tuha) sissetoomisele;
Tööstusharu ranged standardid: tuhasisaldus peab olema väiksem kui 20 ppm või sellega võrdne; vastasel juhul võivad ränivarrastel olla mustad täpid või need ei vasta takistuse määra nõuetele.
Tehnilised põhiparameetrid
| Testitav element | Standardne parameeter |
|---|---|
| Tooraine | Üli-peeneteraline isostaatiline grafiit |
| Tuha sisu | Vähem kui 20 ppm või sellega võrdne |
| Puistetihedus | 1,88–1,93 g/cm³ |
| Teenindustsükkel | 180-240 ahju jooksu |
| Soojusšoki vastupidavus | Pärast 100-kordset kuumutamist{1}}jahutustsüklit ei esine pragusid |
2.PECVD kilesadestamise grafiidipaat (ränivahvli sadestuskandur)
Tööstuse teadmiste punktid
1. Funktsioon: kannab 182/210 mm räniplaadid sadestuskambrisse, et viia lõpule akuelementide nitriidkate;
2. Tööstuse suundumus: suured õhukesed vahvlid, kitsa pesaga disain, üksikpaat suudab kanda 30% rohkem vahvleid kui varem, sobib automatiseeritud tootmisliinidele;
3. Kaoloogika: plasma pommitab pidevalt pinda, ilma katteta grafiitpaat tuleb 300 tsükli järel välja vahetada; SiC-kattega mudeli eluiga pikeneb 2 korda.
Põhilised tehnilised parameetrid
| Testitav element | Standardne parameeter |
|---|---|
| Vahvliga ühilduv | 182mm / 210mm räniplaat |
| Töötlemise tolerants | ±0,02 mm piluvahe |
| Katmise võimalus | Plasmavastane SiC kate |
| Ühekordne kasutusiga | 300 korda (katmata) / 700 korda (SiC-ga kaetud) |
| Avatud poorsus | 0,15% või vähem |
3. Grafiitkütteelement (monokristallahju küttesüdamiku komponent)
Tööstuse teadmiste punktid
1. Funktsioon: kiirguskuumutamine vaakumahjus, silikoonsulami konstantse temperatuuri hoidmine, kristallvarda läbimõõdu stabiilsuse määramine;
2. Jõudlusnõuded: takistus peaks olema ühtlane ilma kõrvalekaldeta, kohalik ülekuumenemine võib põhjustada ränivarda purunemise või võre defekte;
3. Tööstuse kaotamise trend: jämeda-teralise grafiidi kütteelemendid asendatakse järk-järgult üli-peeneteralise-isostaatiliste kütteelementidegagrafiidi pressimine.
| Testitav element | Standardne parameeter |
|---|---|
| Töötemp | Maksimaalne 1600 kraadi pidev |
| Takistuse hälve | Vähem kui 3% või võrdne kogu osaga |
| Soojusjuhtivus | Suurem või võrdne 140 W/(m·K) |
| Oksüdatsioonikindlus | Stabiilne vaakumi inertses atmosfääris |
| Kasutusiga | 1200 ahjutsüklit |
IV. Grafiidi ümbersuunamise silinder / termiline ekraan (ühe kristalli isolatsiooni ümbersuunamise komponent)
Tööstuse teadmiste punkt
Eesmärk: ahju korpuse külma tsooni isoleerimiseks, argooni gaasivoolu juhtimiseks, kristallvarda termilise välja gradiendi stabiliseerimiseks ja dislokatsioonivigade vähendamiseks;
Tööstusprotsess: kahe-kihi komposiitkonstruktsioon suure-tihedusega sisekihiga ja madala-tihedusega väliskihiga isoleerivast grafiidist;
Tavalised vead: termilise ekraani deformatsioon põhjustab ränivarda paksuse kõikumisi ja aku muundamise efektiivsuse vähenemist 0,3% kuni 0,8%.
V. Seemnekristallvõll + grafiidist tõmbevarras (kristalli tõmbav vedrustuse komponent)
Tööstuse teadmiste punkt
Eesmärk: hoida seemnekristalli ja tõmmata, et moodustada üks{0}}kristalliline ränipulk. See võib läbida pikaajalist edasi-tagasi liikumist ja vaheldumisi külma ja kuumaga.
Materjali valiku loogika: üli{0}}kõrge paindetugevusega grafiit. See ei purune tõstmise ja tõmbamise ajal, vältides seega kogu ränimaterjalide partii raiskamist.
Tööstuse juhtimine: iga tüki kaaluviga kontrollitakse rangelt, et vältida raskuskeskme nihkumist tõmbamise ajal.
VI. Polükristalliline valuploki grafiitvorm (配套 DS valuploki ahju jaoks)
Tööstuse teadmiste punktid
Kasutamine: Sisaldab ränivedelikku jahutamiseks ja polükristalliliste räni valuplokkide moodustamiseks. Enamasti kasutatakse odavate{1}}fotogalvaaniliste räniplaatide jaoks;
Diferentsiaalsed töötingimused: võrreldes mono-kristallküttesüsteemidega on valuplokkide valamiseks mõeldud grafiitvorm rohkem keskendunud sellele, et ränivedeliku poolt tekitatud suur{1}}ala erosioon peaks vastu pidama;
Turu staatus: polükristalliline tootmisvõimsus on vähenenud ja tooteid eksporditakse järk-järgult ülemeremaade ja Kagu-Aasia fotogalvaaniliste tehastesse.
VII. SiC-kattega grafiidiosad (universaalne täiendusversioon kõikidele kategooriatele)
Tööstuse teadmised
Protsessi põhimõte: grafiidi pinnale sadestatakse karboniseeritud räni kile, et isoleerida ränivedelik, plasma ja kõrgtemperatuuriline hapnik;
Tööstuse väärtus: kõigi fotogalvaaniliste grafiidiosade kasutusiga pikeneb pärast katmist 1,8–2,5 korda, mis vähendab seadmete seiskamise ja väljavahetamise sagedust;
Kasutusala: Grafiitpaate, tiigleid ja kütteelemente saab kohandada kattega.
Üldised tööstuse lisateadmised
Puhtuse punane joon: fotogalvaaniliste räniplaatide grafiidikomponentide tuhasisaldust tuleb kontrollida 20 ppm piires. Metalli lisandid kahjustavad otseselt fotogalvaaniliste elementide PN-ühendust;
Kululoogika: SiC-kate suurendab ühe{0}}tüki hankekulusid, kuid vähendab oluliselt räniplaatide üldist kadu tootmisliini seisakutest ja praagist;
Allhanketuru suundumused: uute fotogalvaaniliste tehaste ehitamine Kagu-Aasias ja Lähis-Idas suurendab aasta-aastalt nõudlust täielike kõrge -puhtusastmega grafiidist küttesüsteemide ja suurte{1}}mõõtmetega grafiidist paatide järele.
